白銀氣體壓力控制器校準器-PPC4-美國FLUKE
PPC4 -重新定義數(shù)字壓力校準器的優(yōu)異性能
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高達14 MPa (2,000 psi) 的量程
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低至1 kPa (0.15 psia) 絕壓壓力,控制精度高達百萬分之4
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可支持十一種語言
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高性能Q-RPT壓力傳感器確保高精度,高穩(wěn)定性
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最實用的自動量程功能
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最簡單的操作,最靈活的配置方案
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最精密,最穩(wěn)定,最可靠的系統(tǒng)
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自動化的校準軟件
從實驗室測量到7天24小時全天候自動生產(chǎn)測試,總會有一款PPC4™壓力控制器/校準器能夠完美適配您的應(yīng)用需求。
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可選擇全新的高級用戶界面,帶彩色顯示屏幕與一鍵點擊導航,也可選擇基本界面
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全新的編譯程序使得 PPC4 迅速替代傳統(tǒng)測試系統(tǒng)中的控制器而無需更換昂貴的軟件。
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新的“F 級”Q-RPT 模塊性能全面,更加經(jīng)濟。
PPC4是福祿克壓力產(chǎn)品部DHI的最新一代產(chǎn)品。它繼承了前四代PPC的優(yōu)良性能,并且將高性能、操作的靈活性以及長期的穩(wěn)定性更完美地結(jié)合在一起。
優(yōu)異的性能,最大的多面和靈活性,超級可靠性是其最大的特點。
高性能Q-RPT壓力傳感器確保高精度,高穩(wěn)定性
PPC4出眾的指標是源于獨特的Q-RPT(石英諧振壓力傳感器)。每個傳感器都經(jīng)過嚴格的評估并參照基準級的壓力標準標定其特性,只有滿足必需的線性度,重復(fù)性和穩(wěn)定性的指標傳感器才能被使用。福祿克DHI壓力計量部通過二十多年來對成千上萬只傳感器測試的經(jīng)驗和數(shù)據(jù)的積累,得到了一個擁有專利的補償模型,從而對每個傳感器賦予了優(yōu)化的計量特性。出于用戶不同需求和應(yīng)用的考慮,我們提供三種不同性能和價格的Q-RPT壓力傳感器。從最經(jīng)濟的滿量程級(Full Scale
Standard - f),標準級(Standard - s)至性能最高的特級(Premium - p)傳感器。
高性能的Q-RPT石英傳感器被集成在一個剛性非常好的模塊中形成一個壓力傳感器模塊。它可以保護傳感器不受任何外來應(yīng)力的影響,確保測量的精確性和穩(wěn)定性。該模塊還支持自動調(diào)零,改變測量模式以及傳感器切換。
PPC4內(nèi)置了一個獨立的氣壓計進行動態(tài)大氣壓力補償測試,能夠快速實現(xiàn)絕壓、表壓、負壓工作模式之間的切換而不會對測量不確定度造成明顯影響。氣壓計僅被用來測量在表壓模式下大氣壓力發(fā)生的微小變化,因此其隨時間的絕對誤差和漂移不影響測量不確定度,所以無需對其進行校準。這樣就實現(xiàn)了不需要其它硬件或選件即可采用一個Q-RPT實現(xiàn)絕壓和表壓模式的測量。
采用Q-RPT壓力模塊的好處
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除了出眾的計量特性之外,Q-RPT 模塊還具有以下優(yōu)勢:
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預(yù)熱時間可以忽略
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不依賴于氣體種類
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石英元件與測試介質(zhì)隔離
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對地磁干擾的敏感性最小
以上這些特點對實際的使用都帶來的極大的方便和好處。
最實用的自動量程功能
為了使用一臺壓力控制器來覆蓋各種壓力測試設(shè)備,需要考慮許多因素,不僅僅是“%讀數(shù)”測量不確定度。而自動量程(AutoRange)功能正是實現(xiàn)單臺控制器和監(jiān)測儀覆蓋各種被校準設(shè)備(UUT)的主要因素。
自動量程可自動將所有的工作參數(shù)調(diào)整至準確的量程,而無需操作者干預(yù)。該功能通過設(shè)置上限報警和關(guān)斷來防止意外過壓,并且能夠預(yù)設(shè)和保存常用的工作設(shè)置(例如單位、模式、量程),以供隨時調(diào)用。
PPC4能夠適應(yīng)各種各樣的被測設(shè)備。通過易于使用的自動量程功能,在測試之前簡單鍵入幾個設(shè)置,或者輸入幾個簡單的遠程命令就可修改控制器的設(shè)置,對量程進行優(yōu)化。只需要輸入最大壓力、測量模式,如果愿意還可以輸入UUT的滿量程指標,即自動完成:
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傳感器Q-RPT的選擇。如果在PPC4系統(tǒng)中有幾個Q-RPT,則會自動識別和選擇最佳覆蓋量程的Q-RPT
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設(shè)置測量單位
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自動激活絕壓、表壓或負壓測量模式
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設(shè)置相應(yīng)的顯示分辨率
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設(shè)置壓力控制限使之與工作量程相匹配
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過壓限值自動設(shè)置與實際測試量程匹配從而自動保護被測試設(shè)備
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測量不確定度被按比例減小至所選量程(僅限滿量程級和特級Q-RPT)
除了與量程相關(guān)的測量不確定度,PPC4還具有完全的壓力控制和自適應(yīng)能力,這些都是測試和校準應(yīng)用中實現(xiàn)真正的自動量程功能所必不可少的。
最簡單的操作,最靈活的配置方案
PPC4高級型(PPC4-ui)最新的彩色大液晶顯示屏配之以簡明易懂的菜單,可以幫助您輕松完成校準和測量。如果您喜歡使用PC來進行儀器的操控,那么可以選擇不帶彩色顯示屏的基本型;拘秃透呒壭投加星懊姘宓腢SB接口或者后面板的RS232接口,通過免費的 “cockpit”的軟件進行遙控操作。
一臺PPC4可以內(nèi)置一個或兩個壓力傳感器來覆蓋所需的壓力量程。如果量程范圍或者應(yīng)用不能滿足用戶的需求,您可以通過RPM4(標準壓力測試儀)來擴展量程。一個PPC4可以連接一個RPM4構(gòu)成一個系統(tǒng),RPM4可以內(nèi)置一個或兩個傳感器,這樣最多可以構(gòu)成四個傳感器的壓力檢測校準系統(tǒng),來覆蓋任何壓力的量程。RPM4通過9針RS-232電纜進行連接。構(gòu)成系統(tǒng)的RPM4中的Q-RPT由此即成為PPC4系統(tǒng)的一部分,并且受PPC4的管理,對用戶是透明的。僅需要一個測試壓力連接口,系統(tǒng)既可發(fā)揮全部功能,不再需要傳統(tǒng)解決方案中所需的外部閥門或多個測試口。
最精密,最穩(wěn)定,最可靠的系統(tǒng)
PPC4利用DHI擁有專利的正截斷壓力控制技術(shù)控制壓力。正截斷壓力控制由于其高可靠性,寬動態(tài)量程和最小的氣耗以節(jié)約成本而被廣泛接受。
利用正截斷壓力控制技術(shù),PPC4壓力控制器采用單個高壓力源和單個壓力輸出即可以50:1的調(diào)節(jié)比控制壓力,速度和精確度都可得到保障。PPC4提供了 0.002%讀數(shù)準確度范圍到達控制器最大壓力的2%。這就使得PPC4可以覆蓋非常寬的壓力范圍,不會發(fā)生其它控制器經(jīng)常出現(xiàn)的在量程低端不確定度增大的現(xiàn)象。
PPC4壓力控制模塊的可靠性得益于采用了低功率電磁閥,在非常低的工作頻率下,其位移小于0.05mm。
第五代正截斷壓力控制技術(shù)還改進了低絕壓精密度,其截斷能力還使得在設(shè)置零點時達到非常低的絕對壓力。
自動化的校準軟件
PPC4能夠以各種形式實現(xiàn)自動化工作,從單機板載校準程序,到具有模擬第三方能力的遠程接口,以及高級的校準軟件。PPC4的大范圍調(diào)節(jié)比和開放式架構(gòu)使得一套自動化系統(tǒng)配置即可覆蓋非常寬的范圍。設(shè)備提供了前面板USB接口和后面板RS232接口,用于與遠程計算機進行通信。還可選擇IEEE-488.2接口構(gòu)成ATE的校準系統(tǒng)。
遠程工作是通過一組使用簡單、說明詳細的命令串實現(xiàn)的。PPC4命令解析器使PPC4能夠解析并響應(yīng)客戶的遠程命令,包括其它廠商使用的命令。利用該特性,PPC4可模擬第三方控制器,從而可使用為其它廠家的控制器編寫的軟件。得益于命令解釋器,無需對以前的軟件進行修改,即可將PPC4用于已有的系統(tǒng)。
對于那些不希望或者不能夠開發(fā)自己軟件的用戶,我們提供COMPASS軟件,來實現(xiàn)現(xiàn)成的解決方案。COMPASS具有幾乎能夠?qū)崿F(xiàn)任何水平自動化的能力和靈活性,包括測試、數(shù)據(jù)采集和生成報告,無論是用于臺式校準系統(tǒng)還是完整的多功能傳感器測試設(shè)備。
如果您只需要對PPC4進行PC機的控制,只需要免費的軟件Cockpit就可實現(xiàn)。
福祿克壓力品牌DHI部門的壓力校準實驗室是經(jīng)過美國實驗室認證協(xié)會(A2LA)的認證,完全符合ISO 17025標準。從而保證了我們的產(chǎn)品處于一個優(yōu)良和可靠的狀態(tài)。
通用技術(shù)指標
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電源要求
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85~264VAC 50/60 Hz,最大功耗75 W
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工作溫度范圍
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15~35℃
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儲存溫度范圍
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-20~70℃
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振動
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滿足美國軍標MIL-T-28800D標準
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重量
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16.6 kg(36.5 lb)
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尺寸
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PPC4:19 cm高×35 cm寬×41 cm深(7.5 in.×13.8 in.×16.1 in.)
PPC4-ui:19 cm高×35 cm寬×45 cm深(7.5 in.×13.8
in.×17.7 in.)
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遠程通信接口
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RS232 (COM1、COM2)、USB(前面板)選件:IEEE-488.2
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壓力范圍
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真空~10 MPa (1,500 psi)
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工作介質(zhì)
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氮氣、空氣,以及任何潔凈、干燥的非腐蝕性氣體
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供壓
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最大預(yù)期設(shè)置壓力+ 70 kPa (10 psi)
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泄壓
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大氣壓、真空,當表壓低于5 psi (35 kPa)及相當絕壓以下時
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壓力接口
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TEST (+),TEST (-):1/8 in. NPT F供壓:1/8 in. NPT F
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泄壓:1/4 in. NPT F ATM:10-32 UNF
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壓力限值
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最大工作測試壓力:最大103% Hi Q-RPT
無損害測試端口的最大壓力:最大115 % Hi Q-RPT
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通用傳感器(如果存在)
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分辨率:0.001%量程精度:0.1%量程
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壓力測量
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預(yù)熱時間
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在冷啟動時,為了獲得最佳性能,建議采用30分鐘的溫度穩(wěn)定時間
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分辨率
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達1 ppm,用戶可調(diào)
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一年穩(wěn)定性預(yù)測1
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± 0.005%讀數(shù)5
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補償溫度范圍
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5~35℃
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加速度影響
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最大±0.008 % /g,最壞方向。在參考面± 20°范圍內(nèi)無明顯影響
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壓力控制
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HI Q-RPT工作量程
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0-2 MPa
[0-300psi]
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3.5-7 MPa
[500-1,000psi]
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10 MPa [1,500
psi]
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模式和準備完畢指示
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靜態(tài)模式
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將壓力設(shè)置為保持限值內(nèi)的目標值,并在密閉測試容積時關(guān)斷控制。
當達到保持限值之內(nèi)并滿足穩(wěn)定測試條件時,壓力“就緒”。
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動態(tài)模式
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將壓力設(shè)置為保持限值之內(nèi),并連續(xù)調(diào)整壓力保持在目標值。
當達到保持限值之內(nèi)時,壓力“就緒”。
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控制參數(shù)
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保持限值、穩(wěn)定限值(用戶可調(diào)節(jié)默認值)。
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控制精度
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Q-RPT量程的±4ppm或HI Q-RPT量程的± 0.4 ppm,取較大值。
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在動態(tài)模式的最低可控壓力
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表壓模式
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通過自動泄壓調(diào)整零點。零點以上或以下的最低點僅受Q-RPT分辨率和控制精度的限制。
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絕壓、負壓模式
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2 kPa
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3 kPa
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10 kPa
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極限壓力(絕壓、負表壓模式)
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典型值< 50 Pa (0.008 psi)絕壓,取決于真空源和測試體積
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4 kPa
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典型的壓力穩(wěn)定時間(0.005 %控制限值,最適宜的容積)
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15~30秒
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15~30秒
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15~30秒
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轉(zhuǎn)換時間(ATM到FS,50 cc測試容積時)
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30秒
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25秒
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25秒
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典型測試容積
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0~1,000 cc
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0~500 cc
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Q-RPT傳感器等級
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指標
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滿量程等級(f)
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標準等級(s)
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特級(p)
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精度2
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± 0.011%自動量程5
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± 0.008%讀數(shù)6
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± 0.005%讀數(shù)7
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測量不確定度3
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±0.015%自動量程5
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± 0.01%讀數(shù)6
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± 0.008%讀數(shù)7
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輸出壓力不確定度4
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± 0.016%自動量程5
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± 0.011%讀數(shù)6
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± 0.009%讀數(shù)7
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1. 預(yù)測Q-RPT的1年期穩(wěn)定度極限(k=2),假設(shè)正常使用AutoZero功能。只要在表壓模式下排氣,即通過與絕壓模式下的大氣壓參考進行比對,自動進行調(diào)零。不使用自動調(diào)零功能的絕壓模式下預(yù)測1年期穩(wěn)定度為 ± (0.005 % Q-RPT 量程 + 0.005 % 讀數(shù))。
2. 組合了線性度、遲滯性和重復(fù)性。在使用絕壓(Axxx)Q-RPT的表壓模式下,考慮到大氣氣壓計的分辨率和短期穩(wěn)定度,需加上+1 Pa (0.00015 psi)。
3. Q-RPT指示相對于所施加壓力真值的最大偏差,包括準確度、預(yù)測1年期穩(wěn)定度、溫度影響和校準不確定度,,組合和擴展(k=2)方法符合ISO“Guide to the
Expression of Uncertainty in Measurement”(測量中不確定度表述指南)。
4. PPC4輸出壓力相對于真值的最大偏差包括測量不確定度和默認動態(tài)控制保持限值。
5. 自動量程的百分比,但自動量程不低于Q-RPT 量程的30%(采用BG15K 和 G15K 時為10%)。例如,如果Q-RPT為滿量程標準 A160K,當自動量程為160 kPa ~ 48 kPa (160 kPa 量程×30%)時,壓力測量不確定度為 0.015% × 自動量程,當自動量程小于48 kPa 時為7.2 Pa (160 kPa 量程×30% ×0.015%) 。
6. %讀數(shù)乘以測得的壓力(30~100% 量程)。在30% Q-RPT量程之下,%讀數(shù)值乘以30% Q-RPT量程。例如,如果Q-RPT為標準 A160K,壓力測量不確定度為0.010%讀數(shù),直到48 kPa的測量壓力(160 kPa span × 30%),在48 kPa以下為0.0048 kPa(160 kPa span × 30% ×
0.01%)。
7. %讀數(shù)值乘以測得的壓力(30~100% 自動量程)。在30%自動量程之下,(% 讀數(shù)值)×(30% 自動量程); 如果自動量程低于最大Q-RPT量程的30%,則(%讀數(shù)值)×(測得的壓力值),或者(%讀數(shù))×(9% Q-RPT 量程),取較大值。 例如,如果Q-RPT為特級A160K,自動量程為160kPa,則壓力測量不確定度等于(測得的壓力)×0.008%(最大48 kPa) (160 kPa 自動量程 × 30%),在48 kPa下為0.0038 kPa (160 kPa 量程 × 30%×0.008%);如果自動量程為100 kPa (大于160 kPa Q-RPT 量程的30%),則壓力測量不確定度為(測得的壓力) × 0.008%(最大30kPa)(100 kPa 自動量程×30%) ,在30 kPa下為0.0024 kPa (100 kPa 量程×30%×0.008%);如果自動量程為30 kPa (低于160 kPa Q-RPT 量程的 30%),則壓力測量不確定度為(測得的壓力)× 0.008%(直到14.4 kPa) (160 kPa 最大 Q-RPT 量程 × 9%) ,在14.4kPa下為 0.0012 kPa (160 kPa Q-RPT 量程 × 9% × 0.008%) 。
注:DHI 技術(shù)文章 8050TN11提供了 PPC4 Q-RPT不確定度的詳細說明。
Q-RPT傳感器說明:
對于國際單位版本中,量程的默認單位為kPa。其它單位的量程為等效的kPa量程。對英制單位,量程的默認單位為psi,其它單位的量程為等效的psi。
我們提供幾種不同等級的傳感器:包括通用傳感器和三種等級的Q-RPT傳感器。這些傳感器的技術(shù)指標請參見Q- RPT等級表格。
1. 滿量程等級Q-RPT(Full Scale),它適用于那些用“滿量程百分比”表示的不確定度,且要求校準標準的不確定度為 ± 0.015 %或更低的應(yīng)用。由于滿量程標準的Q-RPT傳感器在其最大量程的 30%以下的量程不確定度均為0.015 %,所以一個傳感器可覆蓋很寬的壓力范圍。滿量程等級傳感器是PPC4最經(jīng)濟的Q-RPT傳感器,然而您仍然能夠獲得 PPC4出色的特性和無可比擬的壓力控制功能。滿量程等級傳感器以“f”表示,在Q-RPT型號的后邊加“f”表示(例如A7Mf)。
2. 標準等級Q-RPT(Standard),它適用于以“讀數(shù)百分比”表示不確定度,而不是給定量程不確定度的校準或測試設(shè)備。其測量不確定度為±0.01 %的讀數(shù),傳感器的精度為0.008 %讀數(shù),它可用來校準或測試除最高性能之外的所有壓力測試或校準設(shè)備。標準等級傳感器以“s”表示,在Q-RPT型號的后邊加“s”表示(例如,A10Ms)。
3. 特級Q-RPT(Premium),它是最高端的傳感器。它為壓力傳遞標準樹立了新的標準。該等級的Q-RPT傳感器適用于最高性能和精度的應(yīng)用。特級Q-RPT傳感器一年期測量不確定度在其自動量程的30 %以上時為讀數(shù)的±0.008 %,傳感器的精度為0.005 %讀數(shù)。所以一個Q-RPT即使在稍低于其最大量程時亦可提供出色的技術(shù)指標。特級傳感器以“p”表示,附在Q-RPT型號的后邊加“p” 表示(例如,A700Kp)。
關(guān)于不確定或者精度的指標,要說明的是在使用中用戶最終獲得的是測量的不確定度,而不是傳感器本身的精度。而測量的不確定度除了包括傳感器本身精度之外還包括線性度,遲滯性,,溫度等各種因素。因此在閱讀指標的時候要分清是哪種指標,此外還有特別關(guān)注一下那些角標和注釋。
最后,還有指標以外的東西,例如長期穩(wěn)定性,可靠性等。福祿克的壓力Q-RPT傳感器是經(jīng)過嚴格篩選的,是千里挑一出來的高性能傳感器。所謂高性能,不僅僅是指標,還包括了長期的穩(wěn)定性,可靠性等。
型號
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描述
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PPC4-ui
xxxxy/zzzzy
|
PPC4 Controller/Calibrator with Advanced user interface (color
display, full keypad, point-and-click knob)
To
configure:
· Define the maximum
controlled pressure required
(up to 14 MPa)
· Select the Q-RPT or
utility sensor (xxxx) for the maximum pressure identified and choose its
class (y) from the “Accessory” table below:
Full
Scale Standard Q-RPT
· Standard
Q-RPT
· Premium
Q-RPT
· Utility
sensor
· Select a Lo Q-RPT
(zzzz) if desired.
o Full Scale Standard Q-RPT
o Standard Q-RPT
o Premium Q-RPT
· Select options
o Units – SI or US nominal ranges
o CE compliance
o Remote interface – add IEEE-488.2
|
For detailed information
about configuration options, download the PPC4 product brochure.
|
PPC4
xxxxy/zzzzy
|
PPC4 Controller/Calibrator with Basic user interface (2 x 20
character, 10 key)
To
configure:
· Define the maximum
controlled pressure required
(up to 14 MPa)
· Select the Q-RPT or
utility sensor (xxxx) for the maximum pressure identified and choose its
class from the “Accessory” table below.
· Select a Lo Q-RPT
(zzzz) if desired.
· Select options:
o Units – SI or US nominal ranges
o CE compliance
o Remote interface – add IEEE-488.2
|
For detailed information
about configuration options, download the PPC4 product brochure.
|
通用配件:
配件
|
描述
|
A1.4M
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):1,400
表壓最大范圍(kPa):1,400
US版
絕壓最大范圍(psi):200
|
A100K
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):110
表壓最大范圍(kPa):10
US版
絕壓最大范圍(psi):16
最大
|
A10M
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):10,000
表壓最大范圍(kPa):10,000
US版
絕壓最大范圍(psi):1500
最大R
|
A14M
|
PPC4 Quartz Reference Pressure
Transducer (Q-RPT)
SI Version
Maximum Range (kPa) Absolute: 14,000
Maximum Range (kPa) Gauge: 14,000
US Version
Maximum Range (psi) Absolute: 2,000
Maximum Range (psi) Gauge:2,000
|
A160K
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):160
表壓最大范圍(kPa):60
US版
絕壓最大范圍(psi):23
最大
|
A200K
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):200
表壓最大范圍(kPa):100
US版
絕壓最大范圍(psi):30
最大
|
A2M
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):2,000
表壓最大范圍(kPa):2,000
US版
絕壓最大范圍(psi):300
|
A3.5M1
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):3,500
表壓最大范圍(kPa):3,500
US版
絕壓最大范圍(psi):500
|
A350K1
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):350
表壓最大范圍(kPa):250
US版
絕壓最大范圍(psi):50
最大
|
A700K1,
u
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):700
表壓最大范圍(kPa):700
US版
絕壓最大范圍(psi):100
Maxi
|
A7M1,
u
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):7,000
表壓最大范圍(kPa):7,000
US版
絕壓最大范圍(psi):1000
|
BA100K
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):7到110
表壓最大范圍(kPa):--
US版
絕壓最大范圍(psi):10.2到16
|
BG15K3
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):--
表壓最大范圍(kPa):15
US版
絕壓最大范圍(psi):--
最大
|
G100K2
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):--
表壓最大范圍(kPa):100
US版
絕壓最大范圍(psi):--
最大
|
G15K2
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):--
表壓最大范圍(kPa):15
US版
絕壓最大范圍(psi):--
最大
|
G200K2
|
PPC4石英參考壓力傳感器(Q-RPT)
國際單位版本
絕壓最大范圍(kPa):--
最大量程(kPa)表壓:200
US版
絕壓最大范圍(psi):--
最大
|
RS232
|
9針線,,2m,用于PPC4E COM1(部件號2758335)
|
BAS-SITE
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BAS-SITE COMPASS
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BAS-SNGL
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BAS-SNGL COMPASS
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ENH-SNGL
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ENH-SNGL COMPASS
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PK-PPC-BG-DVU
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BG15K Q-RPT用雙倍容積單元(部件號3070389)
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真空參考套件,110V
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VA-PPC/MPC-REF,110V用于PPC EXHAUST端口的真空泵套件(部件號3584473)
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真空參考套件,220V
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VA-PPC/MPC-REF,220V用于PPC EXHAUST端口(220V)的真空泵套件(部件號3584486)
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RPM4
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用于外部Q-RPT和/或絕壓模式AutoZ的參考壓力監(jiān)測器(部件號3072483)
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SPLT
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PPC4 TEST端口用液體自動凈化槽(部件號3069823)
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